Flüssigkeit zum Füllen einer Resiststruktur und Verfahren zur Herstellung einer Resiststruktur damit

EP4702403 Art A1 4. März 2026

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4702403
Aktenzeichen: EP24721111
Anmeldetag: 22. April 2024
Veröffentlichung: 4. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/40H01L21/027H01L21/311H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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