Verfahren zur Herstellung eines Photonischen Substrats und Verfahren zur Herstellung oder Herstellung eines Photonischen Wellenleiters

EP4702589 Art A1 4. März 2026

Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4702589
Aktenzeichen
EP24726718
Anmeldetag
19. April 2024
Veröffentlichung
4. März 2026
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/322H01L21/324G02B6/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
Land
🇨🇭 Schweiz

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