Chlorsilylsubstituierte Silacycloalkane und Ihre Verwendung zur Bildung von Filmen mit Silicium und Sauerstoff

EP4705309 Art A1 11. März 2026

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4705309
Aktenzeichen: EP24797779
Anmeldetag: 23. April 2024
Veröffentlichung: 11. März 2026
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/12C23C16/455C23C16/40C23C16/34H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von