Flächenselektive Abscheidung eines Metallfilms auf Siliciumhaltigen Oberflächen unter Verwendung von Alkoholen

EP4705539 Art A1 11. März 2026

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Merck Patent GmbH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4705539
Aktenzeichen
EP24811690
Anmeldetag
17. Mai 2024
Veröffentlichung
11. März 2026
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/04C23C16/02C23C16/455C23C22/58
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Versum Materials US, LLC
Merck Patent GmbH
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB München, Deutschland

ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.

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