Herstellungsverfahren für einen Siliziumnitrid-Wellenleiter oder eine Photonische Integrierte Schaltung

EP4705813 Art A1 11. März 2026

Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4705813
Aktenzeichen
EP24729915
Anmeldetag
3. Mai 2024
Veröffentlichung
11. März 2026
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/132G02B6/136G02B6/122G02B6/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

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