Ionenimplantationssystem und Zugehörige Verfahren

EP4710359 14. November 2024

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4710359
Anmeldetag
7. Mai 2024
Veröffentlichung
14. November 2024
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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