Nanostrukturplattform für Zellulare Schnittstelle und Herstellungsverfahren dafür

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4714338

Anmeldetag

3. Dezember 2021

Veröffentlichung

25. März 2026

Rechtsraum

EP

IPC

A61B5/00(3BRAIN AG et al.)(PARK HONGKUN et al.)(UNIV CALIFORNIA et al.)

Abstract

L'invention se rapporte à un procédé de fabrication d'une plateforme pour l'interfaçage cellulaire, la plateforme étant fabriquée sur un substrat massif prédéterminé, procédé de type descendant. Selon l'invention, un tel procédé comprend les étapes ordonnées suivantes : - création (E10) de nanofils verticaux sur le substrat massif ; - dépôt (E30) d'une couche de Si - création (E40) des lignes d'accès aux nanofils ; - siliciuration (E50) sélective des lignes d'accès et des nanofils ; - structuration (E60) métallique des lignes d'accès ; - dépôt (E60) d'une couche isolante pour la mesure liquide ; - retrait sélectif (E70) de la couche isolante sur les nanosondes.

Anmelder

Firma

Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Land

🇫🇷 Frankreich