Bildanalysevorrichtung, Analysevorrichtung, Formmessvorrichtung, Bildanalyseverfahren, Messbedingungsbestimmungsverfahren, Formmessverfahren und Programm
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4715324
- Anmeldetag
- 27. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 25. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/25(CANON KK et al.)
Abstract
A measurement condition that enables accurate shape measurement can be set easily. An image analysis device includes an image analyzer 83 configured to detect, in a case of capturing an image of light projected onto an object to be measured, an improper image for shape measurement of the object to be measured, on the basis of design information on the object to be measured, and a measurement condition, and an output unit 88 configured to output detection result information that is information based on a detection result of the image analyzer 83.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München