Sensorvorrichtung für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung
EP4716865
28. November 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4716865
- Anmeldetag
- 17. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 28. November 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/00, G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
2.391 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Freifrau von Ketteler, Alexa
Debrecen, Ungarn
3
Patente gesamt
2
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte