Stempel zur Verwendung in der Imprint-Lithographie, Verfahren zu Seiner Herstellung und Verfahren für die Imprint-Lithographie

EP4716871 28. November 2024

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4716871
Anmeldetag
21. Mai 2024
Veröffentlichung
28. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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