Vorrichtung zur Herstellung einer Mehrschichtigen Kapazitiven Vorrichtung mit einer Vorrichtung mit Mikroelektromechanischem System (mems) und Zugehörige Verfahren
Anmelder: Eagle Technology, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4723151
- Anmeldetag
- 22. September 2025
- Veröffentlichung
- 8. April 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
An apparatus 20 for making a multi-layer capacitive device 40 may include a deposition chamber 21 and a conductive material source 22 within the deposition chamber. The apparatus 20 may also include a dielectric material source 23 within the deposition chamber 21 and a micro-electromechanical system (MEMS) deposition shadow mask 30 within the deposition chamber. The apparatus 20 may also include a controller 35 outside the deposition chamber 21 and configured to selectively operate the conductive material source 22 and the dielectric material source 23 and operate the MEMS deposition shadow mask 30 adjacent a substrate 25 within the deposition chamber to selectively deposit alternating conductive material and dielectric material layers onto the substrate to make the multi-layer capacitive device 40.
Anmelder
- Firma
- Eagle Technology, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen im Verbund von L3Harris. Eagle Technology entwickelt Software und Systeme für Satellitenkommunikation, Erdbeobachtung und Verteidigungstechnik.
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Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.