Hochpräzise In-Situ-Verifikation und Korrektur der Waferposition und -Ausrichtung für ein Ionenimplantat
EP4725045
12. Dezember 2024
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4725045
- Anmeldetag
- 7. Juni 2024
- Veröffentlichung
- 12. Dezember 2024
- Rechtsraum
- EP
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
-
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB