Verfahren zur Herstellung von Uhrenkomponenten aus Silizium auf einer Einzelnen Siliziumscheibe ohne Trägerschicht.

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4730048

Anmeldetag

18. Oktober 2024

Veröffentlichung

22. April 2026

Rechtsraum

EP

IPC

(シチズン時計株式会社)(ROLEX SA et al.)

Abstract

Un procédé de fabrication d'une pluralité de composants horlogers (90) dans une plaquette (110) comprend les étapes de : (a) se doter d'une plaquette (110) ayant un côté inférieur (110A) et un côté supérieur (110B), la plaquette (110) comprenant une couche simple en silicium (130) sans couche de support, la couche simple (130) ayant une épaisseur (e130) plus importante qu'une épaisseur maximale (e90) des composants ; (b) former les composants (90) en gravant des motifs dans la couche simple en silicium (130) depuis le côté supérieur (110B) de la plaquette (110) afin d'obtenir une couche simple structurée (130'), la couche simple structurée (130') comprenant des régions (135) autour des motifs gravés dans lesquelles le matériau de la couche simple a été éliminé, et les régions éliminées (135) ayant une profondeur (p) correspondant sensiblement à l'épaisseur maximale (e90) des composants ; (c) former une couche de protection (155, 260) au moins sur les surfaces des flancs des composants gravés à l'étape (b); et (d) effectuer une gravure du silicium dans la couche simple structurée (130') à travers les régions éliminées (135) de ladite couche afin d'obtenir une couche simple structurée et excavée (130") ayant au moins une cavité (124) formée en dessous d'au moins un composant (90).

Anmelder

Firma

Richemont International S.A.

Land

🇨🇭 Schweiz