Verfahren zur Herstellung von Uhrenkomponenten aus Silizium

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4730049

Anmeldetag

18. Oktober 2024

Veröffentlichung

22. April 2026

Rechtsraum

EP

IPC

(RICHEMONT INT SA et al.)(NIVAROX SA et al.)

Abstract

Un procédé de fabrication de composants horlogers (90) dans une plaquette de type SOI comprend les étapes de : (a) former une couche en oxyde de silicium structurée (50) sur la surface supérieure de la couche de travail (30) de la plaquette, son épaisseur (eso) étant plus importante que l'épaisseur (e₄₀) de la couche d'oxyde enterrée (40) de la plaquette; (b) former les composants (90) en gravant, au travers de cette couche structurée (50), des motifs dans la couche de travail (30) pour obtenir des régions éliminées (35) qui exposent la couche d'oxyde enterrée (40) en-dessous ; (c) former une couche de protection (55) au moins sur les surfaces des flancs (95) des composants gravés à l'étape (b) ; (d) effectuer une gravure de la couche d'oxyde enterrée (40) et de la couche structurée (50) jusqu'au point auquel des régions (45) de la couche d'oxyde enterrée (40) sont éliminées afin d'obtenir une couche d'oxyde enterrée ajourée (40'), (e) effectuer une gravure du silicium dans la couche de support (20) à travers les régions éliminées (45) de la couche d'oxyde enterrée ajourée (40'), afin d'obtenir une couche de support excavée (20') ayant au moins une cavité (24) formée en dessous d'au moins un des composants horlogers (90) ; et (f) éliminer les parties de la couche d'oxyde enterrée (40) restant entre l'au moins une cavité (24) et l'au moins un composant (90) agencé au-dessus de la cavité (24).

Anmelder

Firma

Richemont International S.A.

Land

🇨🇭 Schweiz