Pulsformung unter Verwendung einer Teilbereichsabstimmvorrichtung und Verfahren

EP4736214 2. Januar 2025

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4736214
Anmeldetag
21. Juni 2024
Veröffentlichung
2. Januar 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
MKS Instruments, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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