Vakuumevakuierungsvorrichtung

EP4737733 2. Januar 2025

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4737733
Anmeldetag: 24. Juni 2024
Veröffentlichung: 2. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: F04D19/04

Abstract

Provided is a vacuum exhaust device that can be plasma-cleaned favorably without providing a pressure regulation valve.A vacuum exhaust device 10 having a turbo molecular pump 100 and a plasma generation device 210 includes a throttle portion 244 capable of increasing an internal pressure of the plasma generation device 210 so as to satisfy a relationship of P≥0.3/D where P is pressure [Pa] and D is a distance [m] between electrodes of the plasma generation device.Further, the internal pressure of the plasma generation device 210 can be increased by the throttle portion to a pressure that satisfies a relationship of P≤1.5/D.

Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von