Ringförmiger Mikroelektromechanischer Drehratensensor
EP4741764
13. Mai 2026
Anmelder: Northrop Grumman LITEF GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4741764
- Anmeldetag
- 16. Mai 2023
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01C19/5684
Abstract
Ein mikroelektromechanischer Drehratensensor (100) weist eine flexible Ringstruktur (110), die in Ruhe einen Kreis formt und geeignet ist, im Wesentlichen parallel zu der Ebene des Kreises über einem Substrat eine Anregungsschwingung auszuführen, der bei einer Drehung der Ringstruktur (110) eine durch die Corioliskraft erzeugte Detektionsschwingung überlagert wird, und zumindest eine Kopplungsstruktur (120) auf, die mit der Ringstruktur (110) verbunden und derart ausgebildet ist, dass sie geeignet ist, zusammen mit auf dem Substrat feststehenden Elektroden (130) einen Quadraturfehler des Drehratensensors (100) zu kompensieren.
Anmelder
- Firma
- Northrop Grumman LITEF GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland