Dielektrisches Element und Verfahren zur Herstellung davon

EP4742877 9. Januar 2025

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4742877
Anmeldetag
5. Juli 2024
Veröffentlichung
9. Januar 2025
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

This dielectric element includes a substrate, an underlayer disposed on the substrate, and a nitride thin film disposed on the underlayer, the underlayer is composed of any one element selected from rare earth elements, and the nitride thin film contains scandium, and a Group 13 element and a Group 15 element in the periodic table.

Anmelder

Firma
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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