Grundplatte zur Unterstützung eines Retikels und Zugehörige Systeme und Verfahren

EP4747689 30. Januar 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4747689
Anmeldetag
4. Juni 2024
Veröffentlichung
30. Januar 2025
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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