Messvorrichtung, Messverfahren, Belichtungsverfahren, Belichtungsvorrichtung und Artikelherstellungsverfahren
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4749242
- Anmeldetag
- 14. November 2025
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/06, G01B11/25, G03F9/00
Abstract
A measurement method of measuring a height position of a measurement region by irradiating the measurement region with light and detecting reflected light from the measurement region with a sensor, the method including obtaining information concerning a distribution of reflectances in the measurement region, and setting a measurement target location in a region where the amount of reflected light detected by the sensor falls within a predetermined range in the measurement region based on the information.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
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