Zweiachsiges Drucken für Gleichmässigere Filme in einem Räumlichen Atomlagenabscheidungsverfahren unter Atmosphärischem Druck

EP4750928 30. Januar 2025

Anmelder: The Regents of the University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4750928
Anmeldetag: 25. Juli 2024
Veröffentlichung: 30. Januar 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of the University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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