Verfahren zur Herstellung einer Elektronischen Vorrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4757179

Anmeldetag

27. November 2025

Veröffentlichung

10. Juni 2026

Rechtsraum

EP

IPC

H03H3/02, H03H9/17, H10N30/00

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication (P2) d'un dispositif électronique (100) résonant comprenant une étape de mise à disposition (E10) d'un empilement primaire (30) comprenant : une étape de fourniture (E1) d'un empilement initial (10) comprenant un substrat initial (11) présentant une face avant (Fav) comprenant une zone centrale (Zc) et une zone de détourage périphérique (Zdp), et une couche mince résonante (13) en matériau piézoélectrique ; et une étape de protection (E2), dans laquelle une couche mince de protection (17) est déposée sur l'empilement initial (10) et recouvrant la zone de détourage périphérique (Zdp); la couche mince de protection (17) étant en un matériau présentant une impédance acoustique supérieure à 20 MRayl pour des ondes longitudinales et/ou supérieure à 12 MRayl pour des ondes de cisaillement. L'invention concerne également un dispositif électronique (100) résonant.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich