Laserbearbeitungsvorrichtung zur Erleichterung der Gerichteten Inspektion von Laserbearbeiteten Werkstücken und Verfahren zum Betrieb Desselben Hintergrunds
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4759473
- Anmeldetag
- 10. März 2021
- Veröffentlichung
- 17. Juni 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/38
Abstract
A laser-processing apparatus for forming features in a workpiece includes at least one sensor for generating process control data representing a) at least one characteristic of the apparatus either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, b) at least one characteristic of the workpiece either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, and/or c) at least one characteristic of an ambient environment in which the apparatus is located either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features. A controller executes, or facilitate execution of, a candidate feature selection process whereby process control data is processed to estimate whether any of the features formed in the workpiece are defective and the location of any feature estimated to be defective is identified.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
334 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
MKS IP Association
MKS IP Association · Berlin