Laserbearbeitungsvorrichtung zur Erleichterung der Gerichteten Inspektion von Laserbearbeiteten Werkstücken und Verfahren zum Betrieb Desselben Hintergrunds

EP4759473 17. Juni 2026

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4759473
Anmeldetag
10. März 2021
Veröffentlichung
17. Juni 2026
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/38
Offizieller Volltext

Abstract

A laser-processing apparatus for forming features in a workpiece includes at least one sensor for generating process control data representing a) at least one characteristic of the apparatus either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, b) at least one characteristic of the workpiece either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, and/or c) at least one characteristic of an ambient environment in which the apparatus is located either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features. A controller executes, or facilitate execution of, a candidate feature selection process whereby process control data is processed to estimate whether any of the features formed in the workpiece are defective and the location of any feature estimated to be defective is identified.

Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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