Verfahren zur Übertragung eines Mems auf ein Substrat

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4768426

Anmeldetag

17. Dezember 2025

Veröffentlichung

1. Juli 2026

Rechtsraum

EP

IPC

B81B7/00

Abstract

L'invention concerne un procédé de report d'un MEMS sur un substrat.Lors du procédé de report, un plot intermédiaire d'absorption vibratoire (10) est interposé entre le MEMS (20) et le substrat (8). Le plot intermédiaire d'absorption vibratoire (10) présente une hauteur minimum telle que la distance entre le MEMS (20) et le substrat (8) est supérieure à 100 µm. De façon avantageuse, les dimensions du plot intermédiaire d'absorption vibratoire (10) sont choisies dans le but d'absorber plus efficacement les vibrations mécaniques du substrat. Le procédé de report selon l'invention permet ainsi d'accroître la précision du MEMS tout en limitant son risque de détérioration, voire de casse, en particulier lorsque ledit MEMS est soumis à un environnement vibratoire de quelques milliers de Hertz.

Anmelder

Firma

EXAIL

Land

🇫🇷 Frankreich