Polymer, Polymerzusammensetzung, Polierflüssigkeitssatz, Polierflüssigkeit, Verfahren zur Herstellung einer Polierflüssigkeit und Polierverfahren

EP4772550 3. April 2025

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4772550
Anmeldetag
10. September 2024
Veröffentlichung
3. April 2025
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

A polymer for a polishing liquid, the polymer having a first structural unit derived from at least one styrenic compound selected from the group consisting of styrene and styrene derivatives and a second structural unit derived from at least one methacrylic acid compound selected from the group consisting of methacrylic acid and its salts, wherein a content of the first structural unit is more than 0 mol% and 38 mol% or less.

Anmelder

Firma
Resonac Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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