Vorrichtung und Verfahren zur Physikalischen Sublimationsablagerung mit Geringer Entfernung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4772668

Anmeldetag

17. Dezember 2025

Veröffentlichung

8. Juli 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

L'invention concerne un dispositif de dépôt physique par sublimation à faible distance, comprenant : - une enceinte (3) sous vide comprenant un corps (30) et un couvercle (40) monté hermétiquement sur le corps, - au moins deux stations de dépôt (1, 2) comprenant chacune : • un compartiment (10, 20) agencé dans le corps de l'enceinte (3) et comprenant un creuset (11, 21) adapté pour être rempli d'un matériau cible (12, 22), et • un élément chauffant (13, 23) adapté pour chauffer le creuset (11, 21) à une température de sublimation du matériau cible, chaque compartiment (10) étant découplé thermiquement d'un autre compartiment (20), - un carrousel (4) adapté pour supporter au moins un substrat (S1, S2), le carrousel étant monté en rotation dans l'enceinte (3) pour positionner ledit substrat (S1, S2) de manière alternée en regard de chaque creuset (11, 21) pour permettre un dépôt d'une couche du matériau cible respectif sur le substrat, et - des moyens de contrôle de la température (5) dudit au moins un substrat pour refroidir chaque substrat à une température inférieure à la température de sublimation de chaque matériau cible.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich