Vakuumpumpe, Festscheibe und Nachgerüstetes Bauteil
Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4772756
- Anmeldetag
- 21. August 2024
- Veröffentlichung
- 6. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04
Abstract
Provided is a vacuum pump in which an exhaust speed can be improved while maintaining a back pressure dependence performance, as well as a stator disc and a retrofitted component used in the vacuum pump. In a vacuum pump according to an embodiment, an inflow guide portion for guiding inflow of a gas is provided on a gas inflow port of a spiral groove formed in a stator disc that serves as a Siegbahn element, is disposed opposite a rotor disc, and has a spiral groove with a root portion and a ridge portion in an opposed surface thereof. The inflow guide portion is shaped such that the stator disc ridge portion extends outward beyond the outer diameter of the opposing rotor disc.
Anmelder
- Firma
- Edwards Japan Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Openshaw & Co
Openshaw & Co · Onex