Alkalische Wässrige Lösung für Halbleiter, Verfahren zur Verwendung als Niedrigtoxizitätsalkali-Wasserlösung für Halbleiter und Verfahren zur Herstellung einer Alkalischen Wässrigen Lösung für Halbleiter
EP4772943
6. März 2025
Anmelder: TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4772943
- Anmeldetag
- 30. August 2024
- Veröffentlichung
- 6. März 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
An alkaline aqueous solution for a semiconductor, said solution comprising (A)-(D). (A) A quaternary ammonium ion represented by formula (1), (B) a halide ion, (C) a hydroxide ion, and (D) water (in the formula, R<1>, R<2>, R<3>, and R<4> are each independently an alkyl group having 1-16 carbon atoms. However, the number of carbon atoms of one or more alkyl groups among R<1>, R<2>, R<3> and R<4> is 2-16.)
Anmelder
- Firma
- TOKUYAMA CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
1.073 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hirons, Daniel Stuart
München, Deutschland
10
Patente gesamt
5
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte