Halbleiterverarbeitungslösung und Verfahren zur Verwendung davon als Halbleiterverarbeitungslösung mit Niedriger Toxizität
EP4773171
6. März 2025
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4773171
- Anmeldetag
- 30. August 2024
- Veröffentlichung
- 6. März 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
Provided is a semiconductor processing solution containing the following (A) to (E): (A) a quaternary ammonium ion represented by formula (1); (B) a halide ion; (C) a hydroxide ion; (D) an oxidizer; and (E) water. (In the formula, R<1>, R<2>, R<3>, and R<4> are each independently a C1-16 alkyl group, provided that the number of carbon atoms in at least one alkyl group among R<1>, R<2>, R<3>, and R<4> is 2-16.)
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München