Vibrationskorrektureinheit, Verfahren zum Betreiben einer Vibrationskorrektureinheit, Sensor und Lithographieanlage mit einem Sensor
EP4774588
13. März 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4774588
- Anmeldetag
- 3. September 2024
- Veröffentlichung
- 13. März 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00, F16F15/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Freifrau von Ketteler, Alexa
Debrecen, Ungarn
2
Patente gesamt
1
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1
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