Beobachtungsvorrichtung und Beobachtungsverfahren
Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4775951
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2025
- Veröffentlichung
- 15. Juli 2026
- Rechtsraum
- EP
Abstract
This observation apparatus 1 observes a particle trapped by a plurality of electrodes 72 extending in a direction crossing a channel 80 formed in a transparent substrate 9, and includes an imaging unit 31, a camera moving mechanism 32 that moves an imaged area of the imaging unit 31, and a control unit 10. The control unit 10 includes an end-electrode detection unit 511 that detects an end electrode 720a positioned at an end of the channel 80, an adjacent-electrode detection unit 512 that detects an adjacent electrode 720b adjacent to the end electrode 720a, a channel wall detection unit 513 that detects a sidewall 800w of the channel 80, and an observation position adjustment unit 514 that adjusts an observation position where the particle is observed, on the basis of the positions of the end electrode 720a, the adjacent electrode 720b, and the sidewall 800w. This enables proper alignment in observation of particles trapped in the vicinity of the electrodes 72 in the substrate 9 such as a micro-channel chip.
Anmelder
- Firma
- SCREEN Holdings Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.