Beobachtungsvorrichtung und Beobachtungsverfahren

EP4775951 15. Juli 2026

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4775951
Anmeldetag
19. Dezember 2025
Veröffentlichung
15. Juli 2026
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

This observation apparatus 1 observes a particle trapped by a plurality of electrodes 72 extending in a direction crossing a channel 80 formed in a transparent substrate 9, and includes an imaging unit 31, a camera moving mechanism 32 that moves an imaged area of the imaging unit 31, and a control unit 10. The control unit 10 includes an end-electrode detection unit 511 that detects an end electrode 720a positioned at an end of the channel 80, an adjacent-electrode detection unit 512 that detects an adjacent electrode 720b adjacent to the end electrode 720a, a channel wall detection unit 513 that detects a sidewall 800w of the channel 80, and an observation position adjustment unit 514 that adjusts an observation position where the particle is observed, on the basis of the positions of the end electrode 720a, the adjacent electrode 720b, and the sidewall 800w. This enables proper alignment in observation of particles trapped in the vicinity of the electrodes 72 in the substrate 9 such as a micro-channel chip.

Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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