Optomechanisches Druckmesssystem sowie Verfahren zur Bestimmung eines Umgebungsdrucks mit Solch einem Optomechanischen Druckmesssystem

EP4792107 17. April 2025

Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4792107
Anmeldetag
14. Oktober 2024
Veröffentlichung
17. April 2025
Rechtsraum
EP
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Limited
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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