Verfahren zur Herstellung von Uhrenkomponenten aus Silizium

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4797010

Anmeldetag

25. Februar 2025

Veröffentlichung

26. August 2026

Rechtsraum

EP

Abstract

Un procédé de fabrication de composants horlogers (90) comprend les étapes suivantes : (a) former au moins une pièce à détacher (90, 28), tel qu'un composant horloger (90), en gravant des motifs dans une couche en silicium (20, 30) afin d'obtenir une couche en silicium structurée (20', 30'), la couche en silicium structurée (20', 30') comprenant des régions éliminées (25, 35) autour des motifs gravés dans lesquelles le matériau de la couche en silicium a été éliminé et des parties subsistantes de la couche en silicium structurée (20', 30') entre ces régions éliminées (25, 35), chaque pièce à détacher étant attachée aux parties subsistantes de la couche en silicium structurée (20' 30') par au moins un pont de matière (22, 32) ; (b) oxyder thermiquement, au moins une fois, la plaquette (10) afin qu'au moins un des ponts (22, 32) s'oxyde complètement et est converti en un pont en oxyde de silicium (22', 32') ne comportant plus de partie en silicium ; et (c) désoxyder la plaquette (10) pour éliminer le ou les ponts en oxyde de silicium (22', 32').

Anmelder

Firma

Richemont International SA

Land

🇨🇭 Schweiz