System und Verfahren für Plasmastrahllithographie
EP4802551
8. Mai 2025
Anmelder: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4802551
- Anmeldetag
- 1. November 2024
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32, G03F1/80
Abstract
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Anmelder
- Firma
- THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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1995 von Dr. Jürgen Kroher und Wolfgang Strobel in München gegründet, verbindet Kroher Strobel technische Patentanwaltsexpertise mit juristischer Schlagkraft für gerichtliche Durchsetzung. Der Sitz am Bavariaring liegt bewusst nah am Europäischen Patentamt, den Münchner Gerichten und dem Bundespatentgericht.
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