Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Substratbehältern
EP4802553
8. Mai 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4802553
- Anmeldetag
- 1. November 2024
- Veröffentlichung
- 8. Mai 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.106 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar