Positive Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Isolierende Harzfolie, Verfahren zur Herstellung einer Isolierenden Harzfolie und Halbleiterbauelement

EP4807447 26. Juni 2025

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4807447
Anmeldetag
15. Januar 2024
Veröffentlichung
26. Juni 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/022, G03F7/004
Offizieller Volltext

Abstract

A positive photosensitive resin composition including: (A) an alkali-soluble resin having a phenolic hydroxyl group and an imide group; (B) a photoacid generator; and (C) a thermal crosslinking agent. The photoacid generator contains an o-quinonediazide compound represented by the following Formula (I). Q is a group represented by the following Formula (3a) or the like.

Anmelder

Firma
Resonac Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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