Hexafluor-2-Butin Enthaltendes Ätzgas
EP4811997
6. August 2026
Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4811997
- Anmeldetag
- 28. Januar 2026
- Veröffentlichung
- 6. August 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10P50/20
Abstract
An object of the present disclosure is to newly provide an etching gas comprising hexafluoro-2-butyne. Provided is an etching gas comprising hexafluoro-2-butyne.
Anmelder
- Firma
- DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daikin Industries
Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München