Substrathalter für eine Elektrostatische Spannvorrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4815034

Anmeldetag

26. März 2025

Veröffentlichung

30. September 2026

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/683, H01L21/687

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Substrathalter (1) für eine elektrostatische Spannvorrichtung umfassend eine Keramikplatte (2) mit einer Keramikplattenoberseite (4) und einer Keramikplattenunterseite (5), wobei die Keramikplattenoberseite (4) ausgebildet ist, um ein Werkstück zu halten, undeine Basisplatte (3) mit einer Basisplattenoberseite (6) und einer Basisplattenunterseite (7), wobei die Basisplattenoberseite zumindest abschnittsweise als Auflagefläche zur Verbindung mit der Keramikplattenunterseite ausgebildet ist, und die Auflagefläche eine Ebene ist, die am weitesten in Richtung der Keramikplatte hervorsteht, dadurch gekennzeichnet, dass die Basisplattenoberseite (6) im Bereich ihrer Auflagefläche vollflächig mit der Keramikplattenunterseite (5) über ein Lotmaterial (8) verbunden ist, und die Basisplatte aus einer Refraktärmetall-basierten Legierung hergestellt ist.

Anmelder

Firma

Plansee SE

Land

🇦🇹 Österreich

Fachgebiete