Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren
Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K., Vrije Universiteit Brussel 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4822324
- Anmeldetag
- 24. September 2024
- Veröffentlichung
- 4. September 2025
- Rechtsraum
- EP
Abstract
An inspection device 1 includes: a pulse forming unit 3 that generates a pulse train Pb in which a plurality of optical pulses Pb1 and Pb2 having different center wavelengths are arranged at predetermined time intervals; a correlation optical system 7 that has polarization dependence in a predetermined polarization direction and generates correlation light Pc of the pulse train Pb output from a photonic integrated circuit 5; an optical detection unit 8 that detects a time waveform of the correlation light Pc; an evaluation unit 9 that evaluates a waveguide of the photonic integrated circuit 5 based on the feature quantity of the time waveform; and a first adjustment unit 4 that makes the polarization direction of each of the optical pulses Pb1 and Pb2 of the pulse train Pb input to the photonic integrated circuit 5 perpendicular to the in-plane direction of a substrate 50.
Anmelder
- Firmen
- Hamamatsu Photonics K.K.
Vrije Universiteit Brussel - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.
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Die Vrije Universiteit Brussel ist eine niederländischsprachige Universität in Brüssel, Belgien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie organische Chemie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Pharma. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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