Testvorrichtung und Verfahren zum Testen von Mikroelektronischen Vorrichtungen

EP4822365 14. Oktober 2026

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4822365
Anmeldetag: 7. April 2026
Veröffentlichung: 14. Oktober 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28

Abstract

L'invention concerne un procédé de test pour tester des dispositifs microélectroniques (11) comprenant une étape de mise à disposition (E1) d'un substrat fonctionnel (10) présentant les dispositifs microélectroniques (11) présentant chacun au moins un premier plot de collage (13); une étape de fourniture (E2) d'un dispositif de test (40) comprenant des deuxièmes plots de collage (45) ; une étape de collage (E4), dans laquelle une liaison par collage temporaire est formée entre un premier plot de collage (13) et un deuxième plot de collage (45) ; et une étape de mesure (E5), dans laquelle une unité de mesure (2) détermine, pour chaque dispositif microélectronique (11), un état de fonctionnement. L'invention concerne également un dispositif de test (40), pour mettre en œuvre un tel procédé de test.

Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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