Ätzgas
EP4827303
12. März 2026
Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4827303
- Anmeldetag
- 27. August 2025
- Veröffentlichung
- 12. März 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H10P50/20
Abstract
The present invention provides an etching gas comprising 1,1,1,2-tetrafluoroethane and a fluorocarbon-based compound with at least one double bond
Anmelder
- Firma
- DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daikin Industries
Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München