Verfahren zum Strukturieren einer Schicht

WO0042646 Art A1 20. Juli 2000

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0042646
Aktenzeichen: EP00903517
Anmeldetag: 12. Januar 2000
Veröffentlichung: 20. Juli 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213B08B3/02G03F7/42H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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