Drill and drilling method, stage working method, and method of manufacturing exposure device

WO0043180 Art A1 27. Juli 2000

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0043180
Aktenzeichen: EP00900362
Anmeldetag: 13. Januar 2000
Veröffentlichung: 27. Juli 2000
Rechtsraum: WO
IPC: B28D1/14B23B47/00B24D7/10B24D7/14B24D7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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