Method for fabricating semiconductor integrated circuit device

WO0045429 Art A1 3. August 2000

Anmelder: Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO0045429
Aktenzeichen
EP00900923
Anmeldetag
25. Januar 2000
Veröffentlichung
3. August 2000
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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