Positive resist composition of chemical amplification type

WO0046640 Art A1 10. August 2000

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0046640
Aktenzeichen: EP00902042
Anmeldetag: 2. Februar 2000
Veröffentlichung: 10. August 2000
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039C08L25/18C08L33/14H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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