Method for detecting alignment mark in charged particle beam exposure apparatus

WO0046845 Art A1 10. August 2000

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0046845
Aktenzeichen: EP00902049
Anmeldetag: 2. Februar 2000
Veröffentlichung: 10. August 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/305H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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