Flat motor device and its driving method, stage device and its driving method, exposure apparatus and exposure method, and device and its manufacturing method

WO0046911 Art A1 10. August 2000

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0046911
Aktenzeichen: EP00902048
Anmeldetag: 2. Februar 2000
Veröffentlichung: 10. August 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H02P7/00H02K41/03G05D3/12G01B7/00H01L21/027G03F9/00G12B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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