System for measuring polarimetric spectrum and other properties of a sample
WO0047961
Art A1
17. August 2000
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO0047961
- Aktenzeichen
- EP00913403
- Anmeldetag
- 9. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 17. August 2000
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J4/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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