Gerät und Verfahren zur Elektrostatischer Abschirmung einer Induktiv Gekoppelter Plasmaquelle und zur Erleichterung der Plasma Zündung

WO0049638 Art A1 24. August 2000

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0049638
Aktenzeichen: EP00904597
Anmeldetag: 27. Januar 2000
Veröffentlichung: 24. August 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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