Stage device and production method thereof, position control method, exposure system and production method thereof, and device and production method thereof

WO0052744 Art A1 8. September 2000

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO0052744
Aktenzeichen: EP00904075
Anmeldetag: 22. Februar 2000
Veröffentlichung: 8. September 2000
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G12B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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